MKS MultiGas 6030傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视. 傅利叶变换红外光谱分析仪能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。