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扫描电子显微镜
钨灯丝扫描电子显微镜(W-SEM),场发射扫描电子显微镜(FEG-SEM),双束聚焦扫描电镜系统(FIB-SEM),拉曼-电镜联用系统(RISE)以及双束电镜-二次离子质谱仪一体化系统(FIB-SEM+TOF-SIMS)是TESCAN最引以为傲的产品线。
TESCAN扫描电镜是性能极其强大的分析平台,在表征纳米材料的表面有独特的优势。采用 Triglav™ 型SEM镜筒的产品,可提供无交叉斑电子束,并具有超高的分辨率,在低电压下尤为明显。Triglav™ 还配置了独特的镜筒内探测器系统,具有能量过滤和角度选择功能,可以采集不同的背散射电子信号呈现不同的衬度。而部分型号采用TESCAN BrightBeam™ 型SEM镜筒则配置了可变比例式静电-电磁复合物镜,可以在低加速电压下实现无漏磁超高分辨成像,这对于包括磁性样品在内的各类样品具有广泛的适用能力。
聚焦离子束系统(FIB)可选择镓离子源FIB或者氙气等离子源FIB, FIB-SEM兼顾了材料研究的纳米尺度表征和FIB 应用,是制备高精度样品加工和先进材料表征的首选设备。